Главная / Решения / Технологии / Первичный элемент / Пьезорезистивность

Пьезорезистивность

Силиконовые пьезорезистивные датчики давления Gefran - результат долговременных инвестиций в исследования и развитие технологий по различному исполнению датчика, включая датчики с толстой пленкой и тензометрические.
Принцип измерения силиконовых пьезорезистивных датчиков давления основан на всем известном мосту Уитстона. Но в данном случае резистивный мост создан прямо на силиконе посредством наложения, которое производит твердотельный чип.
Эта развитая и усовершенствованная технология дает высококачественный продукт с более высокой точностью и стабильностью при высоких температурах, также покрывая диапазоны низких температур, с полношкальным диапазоном от 0-250 mbar до 0-60 bar (относительный).
Как упомянуто, процесс очень сложен: после подготовки поддержки в TO8 конфигурации с несколькими режимами в печи, чип устанавливается с “pick & place” устройством, следующим за полимеризацией в обжиговой печи и связыванием проводки. Далее проверяются нуль и баланс моста для обеспечения четкой привязки к конструктивным параметрам GEFRAN. Между тем, корпус производится из круглой нержавеющей стали с применением диафрагмы и уплотнителя, и все посредством лазерной сварки.
С контактными сварочными системами вышеописанный чувствительный элемент устанавливается в стальной корпус. Изоляция проверяется и корпус заполняется (под вакуумом) силиконовым маслом, которое электрически изолирует чип от металлической диафрагмы и передает давление от диафрагмы на чип. Параметры нуля баланса моста затем снова проверяются.
Далее датчик приваривается к соплу с надлежащим соединением давления, создавая твердую структуру, нечувствительную к скручиванию во время установки прибора. Следующий шаг включает в себя вставку дополнительных электронных цифровых панелей управления.
Панели устанавливаются и мост соединяется по специально спроектированной структуре, после чего первичный преобразователь подвергается нагрузке испытанием циклами давления за N промежутки времени и номинальных полношкальных значений. При использовании совершенно точных контроллеров давление калибруется при комнатной температуре генерацией изменяемых уровней давления от нуля до полной шкалы, после чего производится температурная компенсация в климатической испытательной кабине, запоминание коэффициента по цифровому либо постоянному пути.
Окончательный этап - сварка корпуса, конечные цифровые настройки нуля, спана и блока параметров, следующих за установкой соответствующего электрического разъема и выдачи сертификата о калибровке. Проверка изоляции проводится по окончании процесса по довольно сложной технологии, созданной группой GEFRAN.