“IMPACT” серия - датчики давления без передающей жидкости, используются в высокотемпературной среде (350°C). Давление среды передается напрямую на чувствительный силиконовый элемент через толстую диафрагму. Усилие передается через микроструктуру (MEMS). Пьезорезистивный принцип.
Основная характеристика “IMPACT” датчиков - отсутсвие передающего флюида. Чувствительный элемент, распологающийся сразу за мембраной, исполняется из силикона по микропроцессинговой технологии. Микроструктура включает в себя измерительную мемьрану и пьезорезисторы. Минимальное отклонение, требуемое чувствительным элементом, делает возможным использовать прибор в жестких условиях. Контактная мембрана в 15 раз толще мембраны датчиков со ртутным напонением